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全自动晶圆级单颗锡球植球机/补球机 BM-2000WI
全自动晶圆级单颗锡球植球机/补球机 BM-2000WI
设备特点:
·从Φ50μm(pitch100μm)到Φ700μm球,广范围对应。 ·单一尺寸的吸嘴对应不同规格锡球范围。 ·锡球吸嘴为中空陶瓷制成,抗磨损极强。 ·选装AOI功能强大且快速,可检测球偏位,多球,少球,球径不一致等不良,并自动修正。 ·植球对应芯片范围广,切换芯片或晶圆不需要任何夹具或治具。 ·单颗芯片或整晶圆均可对应,灵活度高。 ·装入方式是吸着锡球的方式,植球后共面性极佳。
主要技术参数:
装置型号 :
晶圆尺寸 :
球 径 :
最小球间距 :
外形尺寸 :
重 量 :
BM-2000WI
4inch, 6inch, 8inch, 12inch
Φ50μm~700μm
100μm(φ50μm Ball)
3065(W)*1700(D)*1650(H)mm
约2500kg
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