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单晶圆/陶瓷片超声波光阻喷涂机

设备功能及特点：

本机是全自动的超声波喷涂机台，可实现取片、对位、喷涂、去边、烘烤、放片等全自动作业。超声波喷涂是利用压电材料将电能转换为机械能，以震荡的方式来雾化流体，可以得到均匀且微细的涂布液滴，以温和且微细的液滴从基材正上方开始沉积涂布，阶梯覆盖率的表现更为优越，也能有效提高材料利用率。利用转速跟喷头移动速度做配合，进行连续性的旋转喷涂，可有效提高产能，更可消除一般设备来回喷涂时，因路径不同所造成的膜厚落差。并且本机采用大口径的供料流道设计，能有效避免管路堵塞的发生，减少设备停机维修时间，提高设备使用的稼动率。腔体结构导入流场数值模拟规划，用以进行优化流道几何设计，避免粒子回流污染涂布腔体。

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