首页/
产品中心
晶圆制造设备
半导体封装设备
电子陶瓷设备
全自动单晶圆清洗机 AST-T02-CL
设备功能及特点：
晶圆全自动清洗机，8”/12” 共享机台，切换只需更换FOUP内 Adaptor。
具备多功特性，针对不同应用，集成不同功能。具备高速离心旋转、HPC、二流体、SC1 化学清洗及能加装兆声波等功能。
适用于 Particle 清洗、Flux 清洗及光阻残留清洗等制程 。
流场模拟腔体设计，独特的密封设计，为制程提供最洁净的清洗环境。
友善的软件接口，提供量产和工程安全便利的芯片制程。
©2023 Kingrun Technoloy Holdings Limited. All rights reserved.
苏ICP备2023006657号-1