Si/ GaAs etc.
芯片料盒:4 [inch]×2片
*晶圆料盒
*面朝下放置
0.8~30[mm]
0.1~1.0t[mm]
2100个/基板
陶瓷,环氧树脂玻璃,柔性板等
Max 110x60[mm]*4 piece set
Max 150×150[mm]*2piece set
0.03~1.0t[mm]
X,Y: ±2[Hm]
伺服马达控制压力
1~200[N] 精度保证在20 [N]内
1~5±0.5[F]
5.1*200[N]±10[%]
*常温下实际压力的精度
陶瓷头加热
32mml CHINEN JIKCO Ltd
室温~MAX400[℃],1[℃] step
最大180[Sec]
200[℃]:±5[℃] 20mm
更换加热头